超声波流量计检测器

超声波流量计检测器UCUF系列是半导体制程中涂胶显影，清洗、CMP、药液供给等设备中，纯水、超纯水和各种化学药液的高精度测量的小口径超声波流量计，其由UCUF检测器和SFC转换器组成。

特点>接液部是PFA材质，没有可动部件，接液部没有容易造成液体滞留的部件(如O型圈)，可以满足高洁净度的要求。>不需要前后直管段。>高精度(读值的1%)>量程从10mL/min到80L/min都可以对应。

主要用途>半导体制造行业用的纯水、超纯水的流量测量，>各种药液供给装置的流量测量。>高腐蚀性液体的流量测量，>CMP Slurry的流量测量。>其他中小口径液体流量测量。

测量原理原理图如右图，采用U型管状检测器，液体从入口流入，经过90°流入测定管，再经过90°从出口流出，测定管的两端装有发送和接受超声波的压电传感器，测量超声波在液体A→B、B→A间的时间tA、tB。液体静止时tA=tB，液体流动时，tA由于是顺流所以时间短，tB逆流所以时间长，通过tB-tA计算出流速。tA、tB和流量的关系受管路的尺寸、形状、药液粘度等因素影响而不同。通过存有大量实验数据的内置线性转换器，实现高精度的测量。

圧電素子 A

伝搬時間 tRA

OUT

超声波流量计检测器规格参数

>测定对象:液体(不含气泡，不腐蚀PFA材料)>流体温度:10~90℃(超过90℃请联络)

>环境温度:0~60℃

>流体压力:0~0.5MPa

1000~2200m/s>音速范围:

检测器

型号

最大流量范围最小流量范围0-3L/min0-3L/min0-3L/min0-8L/min

0-0.05L/min

UCUF-04SE

UCUF-04AM

0-0.05L/min

UCUF-04E

0-0.05L/min

UCUF-06EUCUF-10K

0-0.4L/min

0-20L/min0-50L/min

0-1L/min

UCUF-15K

0-3L/min

UCUF-20K

0-80L/min0-4L/min

连接口径

1/41/43/8

3/812

3/4

1

连接线缆>数量:2根，In和Out各一根。>长度:标准5米(如需其他长度请联络)>材质:外皮PVC(如需其他材质请联络)

>流体运动粘度:0.8~40mm2/s>过程连接:PFA管(参照下)>保护等级:IP65>放置场所:室内>流量范围:参照下表

SFC3000

单通道转换器

多通道转换器

SFC4000SFC-011SSFC8000

SFC3100

转换器端，单通道BNC、多通道SMB.>接头:检测器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。其他系列不可拆卸。